ICC訊 近日，高速率激光器芯片技術(shù)提供商福建中科光芯宣布對外提供外延生長服務(wù)，以滿足家庭寬帶、電信、數(shù)據(jù)通信、光學(xué)傳感、激光雷達等領(lǐng)域?qū)庑酒粩嘣鲩L的需求。

  外延片是光芯片核心工藝，直接影響激光器和探測器的性能和可靠性。中科光芯外延生長材料覆蓋了常見的III-V族材料銦、鋁、鎵和砷、磷，摻雜源包括了二乙基鋅、二甲基鋅、四溴化碳、乙硅烷等，摻雜濃度介于7E14 ~ 4E19之間可調(diào)，產(chǎn)品可以發(fā)射860~2100nm之間的激光。

  中科光芯是國內(nèi)最早一批從事激光器芯片設(shè)計生產(chǎn)的廠家，具有10多年的激光器芯片外延生長經(jīng)驗，每年激光器發(fā)貨5000多萬只，是全球主要的PON激光器供應(yīng)商。2022年，中科光芯增加了4臺全新MOCVD設(shè)備并部署在中科石獅工廠，設(shè)備順利通過試產(chǎn)驗證并進入了量產(chǎn)階段。新MOCVD設(shè)備每次可以裝載12片4英寸晶圓，再加上原有的2臺，中科光芯總共擁有了6臺MOCVD設(shè)備，使得激光器芯片產(chǎn)能達到了1.8億片/年，產(chǎn)能完全滿足自己的激光器芯片生產(chǎn)需求的同時，還能支持外部科研院所和通信、傳感企業(yè)的需求。

  對比其他公司，中科光芯同時擁有CCS（Closed Coupled Showerhead）MOCVD和G4式MOCVD，適用于客戶的科研試制、定制設(shè)計和批量生產(chǎn)。CCS系統(tǒng)Showerhead至Wafer表面僅11~14 mm，便于精準(zhǔn)控制氣體參量；同時該系統(tǒng)多為石英部件，對于雜質(zhì)較好管控。G4式又被稱為Planetary系統(tǒng)，大盤和小盤均快速旋轉(zhuǎn)，生長出來的wafer的一致性較好；同時G4系統(tǒng)部件多為石墨材料，對于壓低腔內(nèi)particle數(shù)量很有幫助。

  此外，為了精準(zhǔn)監(jiān)控外延生長過程和檢測外延片的質(zhì)量，中科光芯配置了完備的儀器設(shè)備。對于一些重要參數(shù)，公司配備了兩套設(shè)備，互相交叉驗證，確保萬無一失。

  中科光芯砥礪前行11載，愿意與行業(yè)友人分享所悟所得；不忘初“芯”，愿與廣大朋友攜手前行，共同推動祖國芯片事業(yè)進步！

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