ICC訊 近期，第五屆中國MEMS制造大會在蘇州國際博覽中心盛大開幕，芯片解決方案領先企業(yè)——天府逍遙（成都）科技有限公司（以下簡稱“逍遙科技”或“公司”）攜MEMS Studio創(chuàng)新解決方案亮相展會。訊石光通訊網(wǎng)有幸對話逍遙科技，將通過Q&A問答形式，帶領大家深入了解逍遙科技在MEMS領域的最新動態(tài)與進展。

  Q1：出席本次蘇州MEMS大會，逍遙重點展示的產(chǎn)品、技術有哪些？在MEMS技術領域，逍遙是否取得新成就、新突破？方便請舉例。

  A1：此次出席蘇州MEMS大會，逍遙科技重點展示了新產(chǎn)品線——MEMS Studio，這是公司為MEMS器件設計開發(fā)者打造的一款集成化設計和仿真自動化解決方案。

  MEMS Studio的主要亮點包括其集成的設計與仿真功能，以及將有限元方法（FEM）與半導體制造標準操作流程無縫結(jié)合，基于下游工藝材料和邊界條件集成DRC規(guī)則檢查，支持行業(yè)標準設備布局文件格式（GDSII和OASIS），通過精細的網(wǎng)格劃分保證精度的同時實現(xiàn)2D到3D的轉(zhuǎn)換，通過python api可自由選擇外接功能庫，幫助開發(fā)人員在一個平臺上完成從概念設計到仿真的全流程。

  MEMS Studio基于以上幾點特性，提供全面集成的端到端解決方案，幫助設計師建立以下優(yōu)勢：

  1. 設計初期提高就確保封裝可行性，減小設計修改次數(shù)，顯著提高效率，縮短了設計周期；

  2. 仿真結(jié)果緊密貼近半導體實際生產(chǎn)流程，加快產(chǎn)品研發(fā)速度，降低開發(fā)成本；

  3. 多物理場仿真功能集合，一站式解決方案。

  Q2：在物聯(lián)網(wǎng)和人工智能技術的推動下，MEMS產(chǎn)品正向智能化和網(wǎng)絡化邁進，通過集成傳感器、執(zhí)行器和通信模塊等組件，實現(xiàn)更加復雜和多樣化的功能。面對這一趨勢，逍遙將如何發(fā)揮技術優(yōu)勢，維持公司的核心競爭力？

  A2：物聯(lián)網(wǎng)（IoT）和人工智能（AI）的迅猛發(fā)展確實為MEMS技術帶來了巨大的機遇和挑戰(zhàn)。面對智能化和網(wǎng)絡化的發(fā)展浪潮，逍遙科技正致力于通過多物理場仿真與系統(tǒng)級集成，結(jié)合在半導體行業(yè)的深厚工藝經(jīng)驗，以及開放生態(tài)和跨領域合作，充分發(fā)揮自身的技術優(yōu)勢。

  隨著MEMS產(chǎn)品向智能化和多功能化發(fā)展，單一物理場的設計和仿真已無法滿足復雜應用的需求。逍遙科技憑借MEMS Studio的多物理場仿真能力，將電學、熱學、流體、結(jié)構力學等多種物理場結(jié)合在一個平臺中進行耦合仿真。這一功能尤其適用于IoT設備中的多功能MEMS器件，如集成傳感器、執(zhí)行器、通信模塊的復合設備。

  MEMS Studio在處理復雜應用時的具體能力：

  1. 在電容式MEMS加速度計的設計中，MEMS Studio可以進行精確的模態(tài)分析，這對于汽車安全氣囊系統(tǒng)、可穿戴設備和光學防抖裝置等應用至關重要。

  2. 在Chiplet的熱管理方面，MEMS Studio能夠進行精確的熱分布仿真，這對于提升系統(tǒng)性能和可靠性具有重要意義。

  3. 在光路交換(OCS)裝置設計中，MEMS Studio能夠精確模擬MEMS器件在不同電壓下的位移情況，這對于實現(xiàn)高速數(shù)據(jù)傳輸和降低通信延遲具有重要價值。

  舉例來說，針對智能穿戴設備中的微型傳感器，MEMS Studio能夠在設計階段就考慮到其在高溫、高濕、低電量環(huán)境下的工作性能，確保產(chǎn)品在各種場景下的穩(wěn)定性和高效性。

  Q3：隨著全球經(jīng)濟的復蘇和新興市場的發(fā)展，MEMS領域的產(chǎn)品需求不斷增加，推動了市場的增長。對此，逍遙是否實施舉措來迎接這一趨勢？認為哪些因素將對公司/行業(yè)產(chǎn)生巨大的影響？

  A3：在全球經(jīng)濟復蘇和新興市場的推動下，MEMS產(chǎn)品的市場需求的確呈現(xiàn)出了強勁的增長趨勢。面對這一趨勢，公司已經(jīng)在多個層面積極應對，以確保能夠抓住機遇并保持市場競爭力。

  1. 設立區(qū)域研發(fā)和支持中心：針對華北、華東、華南、西南等市場，我們已設立區(qū)域性的研發(fā)和技術支持中心，確保能夠提供本地化的解決方案和快速響應客戶需求。

  2. 加大研發(fā)投資，迎接技術變革：技術創(chuàng)新將是維持公司競爭力的核心因素，逍遙科技將會持續(xù)性對研發(fā)進行投入，吸收來自行業(yè)領域的經(jīng)驗，完善產(chǎn)品的功能

  3. 打造行業(yè)生態(tài)，推進產(chǎn)學研協(xié)同發(fā)展：國內(nèi)在MEMS行業(yè)積累還不足，通過加強本地合作伙伴關系，積極尋求與當?shù)氐目萍脊尽⒏咝Ｑ芯繖C構和政府的合作，推動MEMS在物聯(lián)網(wǎng)、智能制造和汽車電子等領域的應用，完善產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈。

  Q4：MEMS Studio作為逍遙科技的重要產(chǎn)品，能否詳細介紹其在多物理場仿真方面的具體優(yōu)勢和特色？

  A4：MEMS Studio通過集成OOFELIE多物理場求解器，為用戶提供了強大而全面的仿真分析能力。

  1. 在物理場支持方面，我們的平臺不僅覆蓋了力學、電學、熱學和聲學等基礎物理場，還能實現(xiàn)這些物理場之間的深度耦合分析，比如熱-力耦合、壓電-熱耦合、靜電場分析以及流固耦合等復雜物理過程的模擬。

  2. 在分析功能方面，MEMS Studio提供了全面的解決方案，包括靜態(tài)分析、模態(tài)分析、諧波分析和瞬態(tài)分析等，這些分析既可以是線性的也可以是非線性的，滿足不同應用場景的需求。

  3. 我們特別關注計算性能的優(yōu)化，通過支持OpenMP和MPI并行計算以及CUDA-GPU加速，結(jié)合高效的網(wǎng)格劃分算法，顯著提升了復雜問題的求解速度。

  這種全面而深入的多物理場仿真能力，使得MEMS Studio能夠準確模擬MEMS器件在實際應用環(huán)境中的復雜行為，為用戶提供可靠的設計優(yōu)化依據(jù)。

  Q5：在當前MEMS行業(yè)發(fā)展趨勢下，逍遙科技如何看待工藝與設計的協(xié)同發(fā)展？MEMS Studio在這方面有哪些具體舉措？

  A5：在MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展過程中，工藝與設計的協(xié)同合作是打破發(fā)展瓶頸的關鍵手段。MEMS Studio的創(chuàng)建正是基于這一核心理念，旨在提供一個全面的解決方案。我司深刻理解工藝與設計之間的緊密聯(lián)系，因此在開發(fā)該平臺時，特別強調(diào)了以工藝為導向的設計流程的構建，以確保兩者之間的無縫協(xié)作。平臺支持主流的GDSII和OASIS文件格式，并提供基于實際工藝的材料庫和邊界條件設置，同時集成了DRC規(guī)則檢查功能，進一步確保了設計成果與實際工藝規(guī)范的一致性。

  在工藝建模領域，我們提供對工藝步驟的精細定義能力，允許用戶精確配置材料特性、操作高度等關鍵工藝參數(shù)，以確保工藝對器件性能的影響得到充分考量。這一特性也在公司的多個實際應用案例中得到了證實，無論是電容式MEMS加速度計的設計、Chiplet的熱管理，還是光路交換器的開發(fā)，都展現(xiàn)出了卓越的工藝適配性。

  為了更好地滿足不同客戶的個性化需求，我們通過Python API接口提供了高度的開放性，支持與第三方工具的數(shù)據(jù)交互，方便用戶根據(jù)具體工藝需求進行功能擴展。這種設計理念確保了MEMS Studio能夠幫助客戶縮短產(chǎn)品開發(fā)周期，降低研發(fā)風險，加快產(chǎn)品導入量產(chǎn)的進程。我們相信，只有通過設計與工藝的深度協(xié)同，才能真正推動MEMS技術的創(chuàng)新發(fā)展。

  Q6：參與本次大會，逍遙有哪些特別的期待或準備？是否有您印象深刻的亮眼產(chǎn)品/技術？方便請舉例。

  A6:

  期待與準備：本次大會，逍遙精心策劃了一系列展示內(nèi)容，旨在為與會者提供深入的洞見。在展臺上，我們重點展示了MEMS Studio平臺在多個實際應用場景中的解決方案，特別是在電容式MEMS加速度計設計與仿真、Chiplet 2.5D整合中的熱管理方案，以及基于MEMS的光路交換裝置設計等領域的具體應用。這些案例都充分體現(xiàn)了我們的產(chǎn)品在實際工程中的價值。

  在技術交流環(huán)節(jié)，我們期待與行業(yè)專家共同探討MEMS設計自動化的最新趨勢、多物理場耦合仿真技術的創(chuàng)新進展，以及工藝與設計的協(xié)同優(yōu)化等熱點議題。這些議題不僅是當前MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關鍵問題，也是我們持續(xù)關注和創(chuàng)新的方向。

  此外，我們還安排了現(xiàn)場演示環(huán)節(jié)，通過實際操作向與會者展示MEMS Studio的核心技術優(yōu)勢。觀眾可以直觀地了解到我們平臺的全流程設計仿真能力，體驗高精度網(wǎng)格劃分技術的效果，以及集成的DRC規(guī)則檢查功能如何幫助設計者提前發(fā)現(xiàn)和解決問題。我們希望通過這些互動性的展示，讓業(yè)界更加深入地理解我們的技術實力和產(chǎn)品特色。

  亮眼產(chǎn)品/技術：大會上，SITRI與中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所合作，為客戶提供設計、模擬、與晶圓代工工藝兼容的微納制造技術、先進封裝技術以及系統(tǒng)集成方面的專業(yè)知識。逍遙發(fā)現(xiàn)，SITRI開創(chuàng)性地建立了國內(nèi)首個全面的MEMS+IC軟件設計平臺，為合作伙伴和客戶的方案設計提供強大支持。同時，SITRI還開發(fā)了一個由高性能MEMS和IC設計、仿真單元組成的IP庫，極大地促進了MEMS-IC設計的快速迭代和性能提升。這個IP庫提供了經(jīng)過驗證、隨時可用的設計單元，有效降低了MEMS設計人員在EDA設計中的工作難度，并顯著減少了設計成本。

  Q7：逍遙本次的參會體驗如何？未來的計劃或展望，歡迎分享。其他問題請自由補充。

  A7：此次展會展現(xiàn)了高度的專業(yè)水準，吸引了眾多競品公司和專業(yè)客戶前來咨詢，顯示出資源的豐富性。同時，本屆納博會的國際展團陣容十分強大，日本與韓國企業(yè)以組團形式參展，攜手歐洲等國際展團，如科磊半導體（KLA）、愛發(fā)科、基恩士、卡爾蔡司、i-ROM等50余家國際知名企業(yè)參展，為觀眾帶來了國際化的視角和前沿的技術體驗。

  最后談及公司未來發(fā)展的計劃，逍遙科技表示將持續(xù)完善MEMS Studio功能，提供更多元化的仿真分析能力，擴大技術服務范圍，為更多細分領域提供專業(yè)解決方案。并將加強與產(chǎn)業(yè)鏈上下游的合作，推動MEMS技術在新興應用領域的發(fā)展，構建一個更加完善的技術支持框架，致力于提供卓越的客戶服務體驗。