ICC訊 昊衡科技自主研發以OFDR為核心的高分辨光學鏈路，具有超高空間分辨率，能精確測量回損、插損和光譜等參數，其事件點定位精度高達0.1mm，廣泛應用于光器件、光模塊、硅光芯片等內部鏈路反射情況測量，以下為一組硅發射芯片測量。

  硅發射芯片主要組件有一維光柵耦合器，可變光衰減器，強度調制器和偏振調制器。將芯片和OCI1500連接，進行反射率分布測量。

圖1. 硅發射芯片鏈路示意圖

  在10μm空間分辨率下獲得測試結果，其中存在多個反射峰，且與芯片內部器件一一對應。為確定反射峰位置，在調制器上施加信號，對反射峰的變化情況進行觀察和分析，得到最終分析結果。

圖2.硅發射芯片10μm測試結果

      從上述結果可以看出，高分辨光學鏈路診斷儀(OCI)可實現對芯片內各器件的識別、定位及回損測量。OCI設備在芯片前期研發以及后期產線產品批量合格檢測中，可起到關鍵性作用。昊衡由衷希望，國產OFDR技術助力國產化芯片制造，加速硅光芯片項目開發、測試與生產。